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1电热元件向工件传热的形式不同
真空炉的电热元件是通过辐射向工件传热，所以在其他条件相同时，真空炉的温度比非真空炉的要高。不过，只在低温炉中温度差别才比较显著。
2电热元件与炉内气氛互相作用的条件不同
电热元件在真空炉内的工作条件比其他状态下要好，特别是比炉内为氧化气氛的非真空炉要好得多。因而，电热元件在真空状态下对抗氧化性要求不高。非真空炉电加热器中电热元件工作时除了炉内气氛与电热元件发生化学反应外，某些电热材料，特别是稀有金属，在加热时因吸收大量气体而变脆、易损坏，但在真空状态下这些金属就能较长期而可靠地工作。
3电热元件材料的挥发速度不同
电热材料在真空炉内容易挥发，由于随着电热元件温度的升高，其蒸气压也随之增加，故使用寿命降低。从这一点看，真空也给电热元件带来了不利影响。
对于低、中温真空炉(使用温度不高于1000℃)，一般采用镍铬合金、铁铬铝合金作电热元件;对于高温真空炉，特别是使用温度大于1200℃的真空炉，所使用的电热元件为铝、钨、钽等纯金属以及石墨。非金属电热材料，如碳化硅在真空下其黏结剂会分解，硅化铝在真空下超过1300℃时会软化，因此真空炉很少采用这两种电热材料。
真空淬火炉停炉后，炉内需保持在66.5LPa以下的真空度。
炉内有灰尘或不干净时，应用酒精或汽油浸湿过的绸布擦拭干净并使其干燥。
炉体上的密封结构，真空系统等零部件拆装时，应用酒精或汽油清洗干净并经过干燥后，涂上真空油脂再组装上。
真空淬火炉炉子外表面经常擦拭，操持清洁干净。
零件及零件车需清洗干燥后方可进入炉内，防止水分、污物进入炉内。
各传动件发现卡位、限位不准，控制失灵等现象时，应立即排队，不要强操作，以免损坏机件。
机械传动件应定期加油或换油保养。
真空泵，阀门，测量仪器，热工仪表，电气元件等配套件，均按产品的技术说明予以维修和保养。
真空炉
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